半導体圧力センサチップ/SMシリーズ

特徴 Features

SMシリーズは高精度・高信頼性のメタルパッケージです。
・SM10、SM20、SM30はTO-5相当のCANタイプパッケージ

型式 Model

半導体圧力センサチップ/SMシリーズ
半導体圧力センサ/SMシリーズ

外形図及び端子配列 External Dimensions And Terminal Arrangement

Unit:mm

半導体圧力センサ/SMシリーズ

仕様 Specifications

型式 SM10C SM20C SM30C-A(G)
101 201 501 102 202 502 103
定格圧力範囲 [ kPa ] ±10 ±20 ±50 ±100 -100~200 -100~500 -100~1000
圧力形式 絶対圧、ゲージ圧
使用温度範囲 [ °C ] -20~100
圧力媒体 非腐食性気体
駆動電流 [ mA ] 1.5 1.0
最大負荷圧力 定格圧力の3倍
フルスケール電圧 [ mV ] 60~140
ブリッジ抵抗 [ kΩ ] 5±1
オフセット電圧 [ mV ] 0±25 0±20
オフセット電圧温度特性*1 [ %FS /°C] ±0.5 ±0.1
フルスケール温度特性*1 [ %FS/°C ] ±0.2 ±0.05
直線性 [ %FS ] ±1.5 ±0.3

注)*1 温度範囲0°C~60°Cについて規定します。特に規定の無い場合は25°C±5°Cの値です。この仕様は一例です。他の仕様についてもご相談下さい。

製品仕様は、改良のため変更することがあります。
Specifications of products are subject to change without notice.


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