半導体圧力センサチップ/SDシリーズ

特徴 Features

設計から量産までカスタム化対応します。
●チップサイズは□1mm~□3mm
●用途にあわせて2つの形式(絶対圧とゲージ圧)
●広範囲な圧力仕様(10kPa~50MPa)
●低価格、高精度、高信頼性、高破壊耐圧

型式 Model

半導体圧力センサチップ/SDシリーズ
半導体圧力センサチップ/SDシリーズ

外形図及び端子配列 External Dimensions And Terminal Arrangement

Unit : mm

半導体圧力センサチップ/SDシリーズ

仕様 Specifications

型式 SD101K-A SD200C-A(G) SD250N-A SD300C-G
103 353 102 202 502 103 153 103 303 503 104 204 354 504 101 201 501
定格圧力 [ Pa ] 1M 3.5M 100k 200k 500k 1M 1.5M 1M 3M 5M 10M 20M 35M 50M 10k 20k 50k
圧力形式 絶対圧 絶対圧(ゲージ圧) ゲージ圧
最大負荷圧力 定格圧力の3倍
使用温度範囲 [ °C ] -20~100 -20~100 -20~100 -20~100
駆動電流 [ mA ] 1.0 1.0 1.0 1.5 1.0
ブリッジ抵抗 [ kΩ ] 4±1 5±1 4.5±1 5±1
オフセット電圧 [ mV ] 0±25 0±25 0±25 0±30 0±25
フルスケール電圧 [ mV ] 60~140 60~140 50~80 60~140
直線性 [ %FS ] ±0.3 ±0.3 ±0.3 ±0.5 ±1.5 ±0.3
オフセット電圧温度特性*1 [ %FS/°C ] ±0.1 ±0.1 ±0.1 ±0.5 ±0.1
フルスケール温度特性*1 [ %FS/°C ] ±0.05 ±0.05 ±0.05 ±0.2 ±0.05
チップサイズ [ mm□ ] 半導体圧力センサチップ/SDシリーズ 半導体圧力センサチップ/SDシリーズ 半導体圧力センサチップ/SDシリーズ 半導体圧力センサチップ/SDシリーズ
チップ高さ [ mm ] 半導体圧力センサチップ/SDシリーズ 半導体圧力センサチップ/SDシリーズ 半導体圧力センサチップ/SDシリーズ 半導体圧力センサチップ/SDシリーズ
台座穴径 (ゲージ圧) [ mm ] - 半導体圧力センサチップ/SDシリーズ - 半導体圧力センサチップ/SDシリーズ

注)*1 温度範囲0°C~60°Cについて規定します。特に規定の無い場合は25°C±5°Cの値です。この仕様は一例です。他の仕様についてもご相談下さい。

製品仕様は、改良のため変更することがあります。
Specifications of products are subject to change without notice.


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