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マイクロマシニング技術を利用したマイクロヒーターです。
高速応答性に優れ、耐汚染性とノンヒステリシスも備えております。
温度湿度センサ、流量センサ、ガスセンサなどに利用可能です。
〈特長〉 |
| チップサイズ | ：2.5mm×2.5mm |
| 応答時間 | ：50msec以内 |
| 検出範囲（温度） | ：0〜200℃ |
| 検出範囲（湿度） | ：0〜100%RH |
| 消費電力 | ：2mW以下 |
〈用途〉 |
| ・湿温度センサ |
| ・流量センサ |
| ・ガスセンサ |
| ・風流センサ |
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アプリケーション例：温湿度計 |
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マイクロヒーター模式図
チップ供給：（株）倉元製作所 様 |
